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SK海力士AIP技術亮相:實現3D NAND單次蝕刻超300層 助力降本增效

   時間:2026-02-12 16:41 來源:快訊作者:楊凌霄

在近日開幕的SEMICON Korea 2026半導體展會上,SK海力士向業界展示了其在先進存儲技術領域的最新探索成果。公司副總裁???(Lee Sunghoon)重點介紹了針對NAND閃存開發的AIP(All-in-Plug)技術,這項突破性方案有望解決3D NAND堆疊工藝中的關鍵瓶頸。

當前3D NAND制造面臨的核心挑戰在于層間連接工藝。傳統HARC(高縱橫比接觸刻蝕)技術每次僅能處理100-200層深度的垂直通道,導致廠商不得不采用多堆棧鍵合方式實現更高堆疊。這種復合工藝不僅推高了生產成本,更對生產效率和產品良率造成顯著影響。據行業數據顯示,鍵合工藝帶來的額外步驟使整體制造成本增加約15%-20%。

SK海力士推出的AIP技術通過革新蝕刻工藝,實現了單次300層以上的通道加工能力。這項突破將使蝕刻次數減少60%以上,直接降低設備折舊和材料消耗成本。公司技術團隊透露,該技術通過優化等離子體分布和刻蝕氣體配比,在保持通道垂直精度的同時突破了現有工藝的物理極限。

目前SK海力士正加速推進AIP技術的產業化進程,計劃將其率先應用于下一代V11 NAND產品。這項技術若能如期量產,不僅將鞏固該公司在3D NAND市場的技術領先地位,更可能引發整個存儲行業的技術路線變革。業內分析人士指出,AIP技術的成熟將促使競爭對手重新評估其技術戰略,加速高堆疊NAND閃存的成本下降曲線。

 
 
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