安徽凌光紅外科技有限公司近日宣布，其自主研發(fā)的商用激光誘導(dǎo)電阻變化設(shè)備——LaserSight系列正式發(fā)布，標(biāo)志著我國(guó)在電性失效分析領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)突破。該設(shè)備可精準(zhǔn)定位金屬互聯(lián)缺陷、金屬與半導(dǎo)體短路等問(wèn)題，廣泛應(yīng)用于集成電路、功率器件及光電器件制造領(lǐng)域，性能指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

作為電性失效分析的三大標(biāo)準(zhǔn)手段之一，激光誘導(dǎo)電阻變化技術(shù)（OBIRCH）與熱發(fā)射、光發(fā)射技術(shù)并駕齊驅(qū)。該技術(shù)通過(guò)激光束掃描樣品表面，利用電阻變化精準(zhǔn)定位缺陷位置，在半導(dǎo)體制造中具有不可替代的作用。然而，自1997年日本企業(yè)首次推出商業(yè)化設(shè)備以來(lái)，全球市場(chǎng)長(zhǎng)期被日本H公司和美國(guó)F公司壟斷，兩家企業(yè)合計(jì)占據(jù)超過(guò)80%的市場(chǎng)份額。

凌光紅外此次推出的LaserSight系列設(shè)備，成功打破國(guó)外技術(shù)壁壘。據(jù)公司技術(shù)負(fù)責(zé)人介紹，該設(shè)備采用自主研發(fā)的光學(xué)系統(tǒng)與信號(hào)處理算法，在空間分辨率、定位精度等核心參數(shù)上達(dá)到進(jìn)口旗艦設(shè)備水平。截至目前，已完成多臺(tái)設(shè)備交付，客戶反饋顯示設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定，能夠有效識(shí)別金屬互聯(lián)層中的微米級(jí)缺陷。

與同類(lèi)產(chǎn)品相比，LaserSight系列設(shè)備展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢(shì)。針對(duì)金屬互聯(lián)缺陷檢測(cè)場(chǎng)景，其靈敏度較傳統(tǒng)InGaAs探測(cè)器提升30%，同時(shí)具備更強(qiáng)的抗干擾能力。在功率器件檢測(cè)中，設(shè)備可清晰分辨金屬與半導(dǎo)體界面的短路點(diǎn)，為工藝改進(jìn)提供可靠數(shù)據(jù)支持。目前，該系列已形成完整產(chǎn)品線，覆蓋從研發(fā)到量產(chǎn)的全流程檢測(cè)需求。

凌光紅外成立于2021年12月，專(zhuān)注于高端實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)儀器的國(guó)產(chǎn)化研發(fā)。公司核心團(tuán)隊(duì)由半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域資深專(zhuān)家組成，已成功突破鎖相紅外熱像儀、微光顯微鏡等多項(xiàng)"卡脖子"技術(shù)。此次激光誘導(dǎo)定位系統(tǒng)的推出，進(jìn)一步完善了公司在電性失效分析領(lǐng)域的產(chǎn)品布局，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控發(fā)展提供重要支撐。